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產(chǎn)品詳情
2MHz射頻電源
產(chǎn)品性能
該射頻電源采用E類放大器，實現(xiàn)效率高、高可靠性。大的冗余設(shè)計，使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網(wǎng)絡(luò)，實現(xiàn)波形的純凈。諧波性能優(yōu)越，可承受開路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)
產(chǎn)品性能
該電源可以作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源。應(yīng)用對象包括：刻蝕、PECVD、磁控濺射、ICP等 。
控制方式
該電源控制方式多樣：RS232、RS485、DeviceNet和模擬口等方式。
產(chǎn)品規(guī)格 | 1250W | 2500W | 3000W |
輸出功率 | 0-1250W | 0-2500W | 0-3000W |
工作穩(wěn)定度 | ≤±0.5% | ||
輸出頻率 | 2MHz | ||
頻率信號 | 標準正弦波 | ||
輸入電壓 | AC180-250V | ||
輸入電流 | 10A | 10A/三相 | 20A |
輸出阻抗 | 50Ω | ||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 水冷 |
通訊口 | RS232/RS48525kg標準Modbus | ||
模擬控制接口 | DB15 | DB15 | DB15 |
輸出接口 | N | N | HN |
機箱尺寸 | 459x440x89 標準2U | 459x440x133m 標準3U | 480x450x133 標準3U |
面板尺寸 | 480x89mm | 480x133mm | |
重量 | 13kg | 25kg | 20kg |
復(fù)制產(chǎn)品鏈接
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