18610611799
產(chǎn)品詳情
13.56MHz射頻電源匹配器一體機
產(chǎn)品性能
該電源通過特殊的射頻隔離設(shè)計，將射頻電源與自動匹配器集為一體，減少射頻系統(tǒng)體積。輸出功率300W，頻率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)。
應(yīng)用對象
該電源可以作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源。應(yīng)用對象包括：磁控濺射、等離子清洗、PECVD等小型容性射頻系統(tǒng)。
產(chǎn)品規(guī)格 | 300W |
輸出功率 | 0-300W |
工作穩(wěn)定度 | ≤±0.5% |
輸出頻率 | 13.56MHz |
承受駐波比 | ＞3.0 |
頻率信號 | 標(biāo)準(zhǔn)正弦波 |
輸入電壓 | AC180-250V |
輸入電流 | 3A |
輸出阻抗 | 50Ω |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
通訊口 | RS232/RS485 標(biāo)準(zhǔn)Modbus |
模擬控制接口 | DB15 |
輸出接口 | N/UHF |
機箱尺寸 | 440x406x130mm 標(biāo)準(zhǔn)3U |
面板尺寸 | 480x135mm |
重量 | 13kg |
復(fù)制產(chǎn)品鏈接
長按圖片保存/分享
北京吉兆源研發(fā)基地
地址：北京市海淀區(qū)豐慧中路7號永豐產(chǎn)業(yè)基地 新材料創(chuàng)業(yè)大廈809
天津吉兆源生產(chǎn)基地
地址：天津市濱海新區(qū)濱?？萍紙@日新道196號 研發(fā)樓D2一層
版權(quán)所有：吉兆源科技有限公司
