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產(chǎn)品詳情
13.56MHz射頻電源（通用型）
應(yīng)用于等離子體真空系統(tǒng)，具有高可靠性的電源
產(chǎn)品性能
該電源輸出功率可達(dá)500W到1250W，頻率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點。電源采用大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時還可以顯示匹配器的運行參數(shù)并且通過電源面板可操作射頻匹配器。
應(yīng)用對象
該電源可以作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。應(yīng)用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。
產(chǎn)品規(guī)格 | 500W | 600W | 750W | 1000W | 1250W |
輸出功率 | 0-500W | 0-600W | 0-750W | 0-1000W | 0-1250W |
工作穩(wěn)定度 | ≤±0.5% | ||||
輸出頻率 | 13.56MHz | ||||
頻率信號 | 標(biāo)準(zhǔn)正弦波 | ||||
輸入電壓 | AC180-250V | ||||
輸入電流 | 5A | ||||
輸出阻抗 | 50Ω | ||||
承受駐波比 | ＞3.0 | ||||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | ||||
通訊口 | RS232/RS485 標(biāo)準(zhǔn)Modbus | ||||
模擬控制接口 | DB15 | ||||
輸出接口 | N/UHF | ||||
機箱尺寸 | 440x382x84mm 標(biāo)準(zhǔn)2U | ||||
面板尺寸 | 480x89mm | ||||
重量 | 8.5kg | 15kg | |||
復(fù)制產(chǎn)品鏈接
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