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圖文詳情

產(chǎn)品詳情

13.56MHz射頻電源（大功率）

應(yīng)用于等離子體真空系統(tǒng)，具有高可靠性的電源

產(chǎn)品性能

該電源輸出功率可達(dá)2500W到6000W ，頻率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。其固態(tài)設(shè)計(jì)使得該產(chǎn)品價(jià)格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時(shí)還可以顯示匹配器的運(yùn)行參數(shù)并且通過電源面板可操作射頻匹配器。

應(yīng)用對(duì)象

該電源可以作為射頻驅(qū)動(dòng)等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。

產(chǎn)品規(guī)格	2500W	4000W	5000W	6000W
輸出功率	0-2500W	0-4000W	0-5000W	0-6000W
工作穩(wěn)定度	≤±0.5%
輸出頻率	13.56MHz
頻率信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)正弦波
輸入電壓	AC380V（AC220V)	AC380V 3PH		AC208V 3PH
輸入電流	8A(16A）	20A		30A
輸出阻抗	50Ω
承受駐波比	＞3.0
冷卻方式	水冷
通訊口	RS232/RS485 標(biāo)準(zhǔn)Modbus
模擬控制接口	DB15
輸出接口	N/UHF	N或7/16		N或7/16
機(jī)箱尺寸	440x445x130mm 標(biāo)準(zhǔn)3U	440x500x130mm 標(biāo)準(zhǔn)3U		標(biāo)準(zhǔn)3U
面板尺寸	480x133mm
重量	25kg	28kg		31Kg