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產(chǎn)品詳情
13.56MHz自動匹配器
產(chǎn)品性能
匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法，當(dāng)接近匹配點時，這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準(zhǔn)確性和可靠性可以很快的響應(yīng)負載特性變化。
應(yīng)用對象
該自動匹配器主要應(yīng)用對象包括：刻蝕、ICP、光學(xué)鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應(yīng)加熱及PECVD等系統(tǒng)。
產(chǎn)品規(guī)格 | BM-1K | BM-2K | BM-3K | BM-5K | |
匹配範(fàn)圍 | 0-600W | 0-1500W | 0-300W | 20-5000W | |
輸出頻率 | 13.56MHz | ||||
輸入電壓 | AC180-250V | ||||
輸出電流 | 0.5A | ||||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 水冷 | |||
輸入接口 | N/UHF | 7/16型或N型 | |||
輸出接口 | UHF/銅帶 | 銅管/銅帶 | |||
安裝方式 | 為了得到工作性能，匹配器安裝必須靠近真空室 | ||||
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