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產品詳情
13.56MHz射頻電源匹配器一體機
產品性能
該電源通過特殊的射頻隔離設計，將射頻電源與自動匹配器集為一體，減少射頻系統(tǒng)體積。輸出功率300W，頻率13.56MHz，標準正弦波。大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數。
應用對象
該電源可以作為射頻驅動等離子體系統(tǒng)的電源。應用對象包括：磁控濺射、等離子清洗、PECVD等小型容性射頻系統(tǒng)。
產品規(guī)格 | 300W |
輸出功率 | 0-300W |
工作穩(wěn)定度 | ≤±0.5% |
輸出頻率 | 13.56MHz |
承受駐波比 | ＞3.0 |
頻率信號 | 標準正弦波 |
輸入電壓 | AC180-250V |
輸入電流 | 3A |
輸出阻抗 | 50Ω |
冷卻方式 | 風冷 |
通訊口 | RS232/RS485 標準Modbus |
模擬控製接口 | DB15 |
輸出接口 | N/UHF |
機箱尺寸 | 440x406x130mm 標準3U |
面板尺寸 | 480x135mm |
重量 | 13kg |
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