18610611799
產(chǎn)品詳情
DM系列雙頻匹配器
產(chǎn)品性能：
該匹配器能夠提供快速、準(zhǔn)確和可靠的阻抗變換?？勺冸娙萦呻姍C(jī)驅(qū)動(dòng)，電機(jī)通過計(jì)算主板控制。
采用高速的匹配算法，可以調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速，即使是高Q值的系統(tǒng)也能達(dá)到準(zhǔn)確的匹配效果。
通過調(diào)整內(nèi)部繼電器,調(diào)節(jié)不同檔位,達(dá)到匹配。
應(yīng)用對(duì)象：
該雙頻匹配器主要應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、PECVD系統(tǒng)
電源電壓 | 24V,±10% |
電源頻率 | DC |
電源電流 | 5A |
電源模式 | 連續(xù)波波形 |
輸入阻抗 | 50 Ohm |
工作溫度 | 5℃ to 40℃ |
相對(duì)濕度 | 5%-85% |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
輸出接口 | N/HN/銅柱等 |
附加功能 | VI Prob |
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