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產(chǎn)品詳情
ESC靜電卡盤電源
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.電源寄存能量低，內(nèi)置電流限制和保護(hù)電路設(shè)計(jì)使設(shè)備免受浪涌和電弧的損害。
2.通過輸出極性轉(zhuǎn)換，降低了夾盤上電荷的風(fēng)險(xiǎn)。
3.短路和開路設(shè)計(jì)增加了設(shè)備的可靠性。
4.突出的夾緊性能使本產(chǎn)品更適用于半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)過程中。
應(yīng)用對象
單極 | 雙級 | 可選功能 |
ESC-3000D： 輸出50-3KV，2mA | ESC-3002：可輸出±1.5KV，2mA | 極性切換，快速放電，判斷wafer吸附狀態(tài)，偏壓可檢測可設(shè)置（雙極），快速切換，穿刺功能，通訊可選(Modbus、EtherCAT） |
ESC-3004S： 輸出50-3KV，4mA | ESC-4002：可輸出±2KV，2mA | |
ESC-3002S： 輸出50-3KV，2mA | ESC-4100：可輸出±2KV，100mA | |
ESC-3001S： 輸出50-3KV，1mA | ESC-1501：可輸出±7.5KV，1mA | |
ESC-8001S： 輸出80-8KV，1mA | ESC-4050：可輸出±2KV，50mA | |
ESC-4100H：ESC快速切換電源，100mA |
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