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產(chǎn)品詳情
350KHz-450KHz低頻電源
產(chǎn)品性能
低頻電源提供50-3000W功率輸出，頻率范圍350KHz-450KHz。機箱整體采用半機箱結(jié)構(gòu)設(shè)計使其體積更小便于安裝。設(shè)計采用固態(tài)設(shè)計使產(chǎn)品性價比更高、可靠性更強。
應(yīng)用對象
該電源作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。應(yīng)用對象包括：刻蝕、PECVD、PVD等系統(tǒng)
產(chǎn)品規(guī)格 | 600W | 1000W | 3000W |
輸出功率 | 0-600W | 0-1000W | 0-3000W |
射頻精度 | 1% | ||
輸出頻率 | 350KHz-450KHz | ||
頻率信號 | 標(biāo)準(zhǔn)正弦波 | ||
輸入電壓 | AC180-250V | ||
輸入電流 | 5A | 10A | 16A |
輸出阻抗 | 50Ω | ||
脈沖頻率 | 100Hz-10KHZ | ||
占空比 | 10%-90% | ||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 水冷 |
通訊口 | RS232/RS48525kg Device Net | ||
模擬控制接口 | DB15 | ||
輸出接口 | N | ||
機箱尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn)3U | 標(biāo)準(zhǔn)3U | 標(biāo)準(zhǔn)3U |
面板尺寸 | 240x132mm | ||
復(fù)制產(chǎn)品鏈接
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