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產(chǎn)品詳情
多級脈沖電源TI-3013&TI-6013
該射頻電源采用3U半機箱設(shè)計，整機功率密度高
支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式
可自定義配置脈沖信號，響應(yīng)速度快，信號質(zhì)量高
快速的信號響應(yīng)時間，以及脈沖上升/下降時間
支持高速、高精度的調(diào)頻功能,掃頻范圍寬。內(nèi)設(shè)多種保護機制，穩(wěn)定性高
應(yīng)用特征
該電源主要應(yīng)用對象包括：刻蝕、ICP、光學(xué)鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應(yīng)加熱及PECVD等系統(tǒng)。
參數(shù)名稱 | TI3013 | TI6013 | 備注 |
工作頻率 | 13.56MHz±5% | 13.56MHz±5% | 可拓寬頻率范圍 |
輸出功率 | 0-3000W | 0-6000W | HALO模式 |
輸出模式 | CW,Pulse，ML-Pulse | CW,Pulse，ML-Pulse | 多級脈沖 |
脈沖頻率/占空比 | 10Hz-20KHz，5%-95% | 10Hz-20KHz，5%-95% | 可拓頻率和占空比 |
輸出阻抗 | 50Ω | 50Ω | |
調(diào)頻 | 100ms | 100ms | DFT &AFT 可選 |
輸出功率精度 | ±1W or ±1% of set point | ±1W or ±1% of set point | |
設(shè)定功率精度 | 1W ,0.1W for HALO unit | 1W ,0.1W for HALO unit | |
諧波 | ＜-50dBc | ＜-50dBc | |
上升沿 | ＜20ms | ＜20ms | |
耐駐波比 | ＞3.0 | ＞3.0 | |
通信接口 | E-CAT | E-CAT | RS232、RS485、DeviceNet、Profibus可選 |
供電電壓 | 208VAC 3Φ | 208VAC 3Φ | 可支持380VAC |
冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | |
外形尺寸 | 3U半機箱 | 3U半機箱 |
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