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產(chǎn)品詳情
射頻RPS
獨(dú)創(chuàng)的遠(yuǎn)程等離子體源，基於高頻低損耗磁芯設(shè)計(jì)，腔體通過特殊的材料設(shè)計(jì)顯著減少氧、氫和氮原子氣體的損失。系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，射頻功率可達(dá)10kW ，可根據(jù)具體應(yīng)用進(jìn)行相關(guān)匹配設(shè)計(jì)?？商峁┨峁└哌_(dá) 10 slm 的氧自由基，真實(shí)功率精度為 <1%。具備EtherCAT、232/485等相關(guān)遠(yuǎn)程控製接口。
參數(shù)名稱 | 技術(shù)要求 |
工作頻率 | 350kHz~450KHz |
輸出功率 | 100W-10000W |
適用氣體 | O2, N2, Ar,NF3 等等 |
運(yùn)行氣壓範(fàn)圍 | 0.3-10 Torr |
氣體流量範(fàn)圍 | ≤10slm |
電源輸入 | AC208V，47-60HZ, 38A 三相 |
冷卻方式 | 循環(huán)水冷 |
保護(hù) | 過電流、過溫度、過功率 |
控製接口 | EtherCAT、RS232/RS485、AD |
阻抗匹配方式 | 調(diào)頻匹配 |
應(yīng)用 | CVD Chamber Cleaning、Surface Treatment and PE-CVD |
應(yīng)用材料 | SiO2, BPSG ，SiON ，Si3N4, SiNx，P-TEOS，ACL type etc. |
外形尺寸 | RPS系統(tǒng)：440*245*270mm |
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