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產品詳情
產品性能：
大功率電源是新一代射頻電源發(fā)生器，單臺輸出功率可達30KW。產品廣泛應用於LCD、光伏等行業(yè)。典型應用包括濺射、PECVD和表面處理
產品特征：
采用先進的功率發(fā)生器，輸出功率高，穩(wěn)定可靠；搭配12寸工業(yè)觸控屏，方便控製於顯示；自主研發(fā)的高功率電源匹配器，能實現快速匹配；具備電弧抑製功能，可以有效抑製負載產生的電??；多種報警監(jiān)控機製，有效保障設備穩(wěn)定運行
輸出頻率 | 13.56MHz/27.12MHZ |
頻率信號 | 標準正弦波 |
輸出功率精度 | ±1% |
輸出阻抗 | 50Ω |
承受駐波比 | ＞3.0 |
輸入電壓 | 三相380VAC |
人機界面 | 12寸觸控屏 |
冷卻方式 | 水冷+風冷 |
水冷溫度範圍 | ＜25℃ |
水冷壓力 | 0.4~0.6 Mpa |
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