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應(yīng)用領(lǐng)域:
離子束刻蝕,離子束濺射,離子束輔助鍍膜
產(chǎn)品特點(diǎn):
完善的射頻和離子源控製系統(tǒng);快速達(dá)到放電穩(wěn)定狀態(tài)(10s以內(nèi));中和器快速穩(wěn)定(3s以內(nèi));方便角度調(diào)解;優(yōu)化的放電均勻性;法蘭安裝方便。
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