18610611799
產(chǎn)品詳情
13.56MHz射頻電源（大功率）
應(yīng)用於等離子體真空系統(tǒng)，具有高可靠性的電源
產(chǎn)品性能
該電源輸出功率可達2500W到6000W ，頻率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重複等優(yōu)點。其固態(tài)設(shè)計使得該產(chǎn)品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時還可以顯示匹配器的運行參數(shù)並且通過電源面板可操作射頻匹配器。
應(yīng)用對象
該電源可以作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應(yīng)用於半導(dǎo)體工業(yè)。應(yīng)用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。
產(chǎn)品規(guī)格 | 2500W | 4000W | 5000W | 6000W |
輸出功率 | 0-2500W | 0-4000W | 0-5000W | 0-6000W |
工作穩(wěn)定度 | ≤±0.5% | |||
輸出頻率 | 13.56MHz | |||
頻率信號 | 標(biāo)準(zhǔn)正弦波 | |||
輸入電壓 | AC380V（AC220V) | AC380V 3PH | AC208V 3PH | |
輸入電流 | 8A(16A） | 20A | 30A | |
輸出阻抗 | 50Ω | |||
承受駐波比 | ＞3.0 | |||
冷卻方式 | 水冷 | |||
通訊口 | RS232/RS485 標(biāo)準(zhǔn)Modbus | |||
模擬控製接口 | DB15 | |||
輸出接口 | N/UHF | N或7/16 | N或7/16 | |
機箱尺寸 | 440x445x130mm 標(biāo)準(zhǔn)3U | 440x500x130mm 標(biāo)準(zhǔn)3U | 標(biāo)準(zhǔn)3U | |
面板尺寸 | 480x133mm | |||
重量 | 25kg | 28kg | 31Kg | |
複製產(chǎn)品鏈接
長按圖片保存/分享
北京吉兆源研發(fā)基地
地址：北京市海澱區(qū)豐慧中路7號永豐產(chǎn)業(yè)基地 新材料創(chuàng)業(yè)大廈809
天津吉兆源生產(chǎn)基地
地址：天津市濱海新區(qū)濱?？萍紙@日新道196號 研發(fā)樓D2一層
版權(quán)所有：吉兆源科技有限公司
