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產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點
完善的射頻和離子源控制系統(tǒng)；快速達到放電穩(wěn)定狀態(tài)（10s以內(nèi)）；中和器快速穩(wěn)定（3s以內(nèi)）；在導(dǎo)軌上移動，移動距離大于3米；法蘭安裝方便；配射頻中和器。
應(yīng)用領(lǐng)域：
離子束拋光，離子束濺射，離子束輔助鍍膜
產(chǎn)品型號 | ION-12 | ION-17 | ION-23 |
真空壓力 | <1x10-1Pa | <5x10-2Pa | |
BEAM電壓 | 100v-1000v | 100v-1500v | |
加速電壓 | -100v--1000v | ||
束流 | 300mA | 1500mA | 2500mA |
射頻功率 | 600w | 1000w | 2000w |
氣體流量 | 氬氣：20sccm-40sccm 氧氣：40sccm-80sccm | ||
柵網(wǎng)類型 | 鉬柵：12cm 三柵結(jié)構(gòu) | 鉬柵：17cm 三柵結(jié)構(gòu) | 鉬柵：23cm 三柵結(jié)構(gòu) |
冷卻方式 | 線圈水冷，本體水冷 | ||
外形尺寸 | φ400*h300mm | φ400*h300mm | |
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